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濺射儀是一種利用離子轟擊靶材,使靶材原子沉積到基片表面的真空鍍膜設(shè)備,專(zhuān)為制作樣品而設(shè)計(jì)的,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便等特點(diǎn)。
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